硏磨装置及板状物之硏磨方法

摘要

本发明之课题是提供一种能够防止因浆液之浓度不均所造成之研磨不良的研磨装置及研磨方法。解决手段是研磨板状物之研磨装置，其特征在于包括保持板状物之保持手段、具有用以研磨被保持于该保持手段上之板状物之研磨垫的研磨手段，及对被保持于该保持手段上之板状物供给浆液之浆液供给手段。该浆液供给手段具有：混合部，将混合了复数种药液之从混合液供给源透过第一流量调整手段所供给之混合液，与从水供给源透过第二流量调整手段所供给之水加以混合，以将混合液稀释成预定之浓度而形成浆液；浆液供给通路，从该混合部将该浆液供给至板状物；以及，导电度检测手段，配置于该浆液供给通路上，用以检测该浆液之导电度；又，是将该第一流量调整手段或该第二流量调整手段控制成使以该导电度检测手段所检测出之导电度形成预定之值。