发明名称 半导体封装结构以及半导体封装制程
摘要
申请公布号 TWI511247 申请公布日期 2015.12.01
申请号 TW100125296 申请日期 2011.07.18
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 陈光雄;王圣民;张勖帆
分类号 H01L23/48;H01L21/60 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种半导体封装结构,包括:一基板,具有一承载面,且该承载面侧内埋至少一第一接垫;一晶片,具有一第一表面以及相对于该第一表面之一第二表面,该晶片藉由该第二表面贴附于该基板的该承载面,且该第一表面上设有至少一第二接垫;至少一金属叠层,设置于该第一接垫上,每一金属叠层包括一镍层、一钯层以及一金层,其中该钯层位于该镍层与该金层之间,而该镍层位于该钯层与该第一接垫之间,且该镍层的厚度大于等于1.5微米,小于3微米,其中该金属叠层的硬度小于或等于180HV;以及至少一铜导线,分别连接于该第二接垫与相应的该金属叠层之间,以电性连接该晶片与该基板的该第一接垫。
地址 高雄市楠梓加工出口区经三路26号