用于微影设备之基于钻石的监测设备，及一包含基于钻石的监测设备之微影设备;DIAMOND-BASED MONITORING APPARATUS FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND A LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING DIAMOND-BASED MONITORING APPARATUS

摘要

本发明揭示一种包含一监测设备之微影设备及一种相关联的监测设备。该监测设备经组态以用于监测一第一波长之第一辐射。该监测设备包含：一第一感测器设备，其包含一钻石萤光材料，该钻石萤光材料经组态以吸收该第一辐射且发射表示该第一辐射之第二辐射，该第二辐射具有一第二波长；及一第二感测器设备，其经组态以感测该第二辐射。; and a second sensor apparatus configured to sense the second radiation.