| 发明名称 |
盐及含有该盐之光阻组成物 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI510462 |
申请公布日期 |
2015.12.01 |
| 申请号 |
TW101106488 |
申请日期 |
2012.02.29 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
市川幸司;坂本宏;安江崇裕 |
| 分类号 |
C07C381/12;G03F7/004;H01L21/027 |
主分类号 |
C07C381/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种盐，其系以式(I)表示：其中Q1及Q2独立地各自表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示C1-C17二价饱和烃基其中一或多个-CH2-可以-O-或-CO-置换，L2表示单键或C1-C6烷二基其中一或多个-CH2-可以-O-或-CO-置换，Y表示C3-C18脂环族烃基其可具有一或多个取代基，及于该脂环族烃基中的一或多个-CH2-可以-O-、-CO-或-SO2-置换，及Z+表示有机抗衡离子。 |
| 地址 |
日本 |
