| 发明名称 | 使用电浆反应制程来形成氟碳化物层的方法 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI510665 | 申请公布日期 | 2015.12.01 |
| 申请号 | TW099105092 | 申请日期 | 2010.02.12 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 高场裕之 |
| 分类号 | C23C16/32 | 主分类号 | C23C16/32 |
| 代理机构 | 代理人 | 周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼 | |
| 主权项 | 一种使用电浆反应制程来形成氟碳化物层的方法，该方法包含以下步骤：在不小于20mTorr且不大于60mTorr之压力下，施加微波功率与射频偏压，其中该氟碳化物层具有约0.9至1.0的碳对氟(C/F)组成比率，且其中该射频偏压的功率不小于20W，且不大于120W。 | ||
| 地址 | 日本 | ||