| 发明名称 |
压印装置及物品制造方法;IMPRINT APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
本发明提供一种压印装置，该压印装置包括：基板保持部，其被构造成保持所述基板，其中，所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域，并且其中，所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板，并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。 |
| 申请公布号 |
TW201545206 |
申请公布日期 |
2015.12.01 |
| 申请号 |
TW104113534 |
申请日期 |
2015.04.28 |
| 申请人 |
佳能股份有限公司 CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
宫岛义一 MIYAJIMA, YOSHIKAZU;川原信途 KAWAHARA, NOBUTO |
| 分类号 |
H01L21/027(2006.01);B29C59/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
