| 发明名称 |
聚合膜之成膜方法及成膜装置;POLYMERIZED FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
一种聚合膜之成膜方法，其系使用包含酸二酐的第1原料气体与包含二胺的第2原料气体，在被处理体的被处理面上形成聚合膜的聚合膜之成膜方法，其特征为包含：(1)表面处理步骤，其对该被处理面，供给包含使该被处理面与该聚合膜之密合性提升的密合促进剂之气体，以进行表面处理；及(2)聚合膜形成步骤，其对已进行该表面处理的被处理面上，供给该第1原料气体以及该第2原料气体，以形成聚合膜；在该(1)步骤中的表面处理时，除了该包含密合促进剂的气体以外，更供给该第1原料气体以及该第2原料气体中的至少一者。 |
| 申请公布号 |
TW201544560 |
申请公布日期 |
2015.12.01 |
| 申请号 |
TW104105216 |
申请日期 |
2015.02.16 |
| 申请人 |
东京威力科创股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
藤川诚 FUJIKAWA, MAKOTO;山口达也 YAMAGUCHI, TATSUYA |
| 分类号 |
C09D179/08(2006.01);C23C16/44(2006.01);C23C16/455(2006.01);C23C16/46(2006.01);C23C16/52(2006.01) |
主分类号 |
C09D179/08(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
周良谋周良吉 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
