| 摘要 |
본 발명에 관련된 유지 장치 (10) 는, 다이싱 테이프 (지지막) (3) 가 접착되어 있는 측의 면으로부터 웨이퍼 (기판) (2) 를 흡인하는 제 1 흡인부 (11), 다이싱 프레임 (프레임부) (4) 을 지지함과 함께, 다이싱 테이프 (3) 의 웨이퍼 (2) 가 접착되어 있지 않은 측의 면에 있어서의 웨이퍼 (2) 와 다이싱 프레임 (4) 사이에 끼워진 제 1 영역을 덮는 구조체 (14), 그리고 구조체 (14) 와, 다이싱 프레임 (4) 및 제 1 영역의 적어도 일방 사이를 밀폐하는 제 2 흡인부 (12) 를 구비하고 있다. |
