| 主权项 |
一种微机电系统(MEMS)装置，其系包括：一个第一基板，其系具有一个第一表面和一个第二表面，所述第一基板系包含：一个基底层；一个可移动横梁，其系被附接至所述基底层，并且具有一个顶侧表面和一个底侧表面，所述底侧表面系面对所述基底层，所述可移动横梁系包含：一个或更多第一电极，其系被布置在所述可移动横梁的底侧表面上；一个或更多第二电极，其系被布置在所述可移动横梁的顶侧表面上；一个或更多垫高件(standoff)，其系被布置在所述第一基板的第一表面上，使得一个或更多传导性层系坐落在所述一个或更多垫高件的顶侧表面上；以及一个第二基板，其系包含被接合至所述一个或更多垫高件的一个或更多金属层，以在所述一个或更多金属层的至少一部分和所述第一电极的一者或更多者或所述第二电极的一者或更多者中的一者之间生成一个电性连接。 |
