照明光学装置、曝光装置、曝光方法以及元件制造方法

主权项

一种照明光学装置，藉由照明光对具有图案的物体进行照明，其特征在于包括：复折射构件，其由复折射材料构成，配置于所述照明光的光路而变换所述照明光的偏光状态；以及光学积分器，其配置于所述照明光的光路中所述复折射构件与所述照明光学装置的瞳面之间的光路，所述照明光的一部分的光束以及另一部分的光束通过所述瞳面中从该照明光学装置的光轴离开的领域，所述复折射构件在所述一部分的光束的光路中的厚度与所述另一部分的光束的光路中的厚度彼此不同，以使所述瞳面中的所述一部分的光束以及所述另一部分的光束的偏光状态成为彼此不同的偏光状态。