显示元件之制造方法及制造装置

摘要

提供一种能以高精度检测位置的显示元件用制造装置。显示元件之制造装置(100)具有将基板(FB)往第一方向搬送之搬送部(RR)、检测基准标记(AMR2,AML2)的第一对准系统(61)、配置于离第一对准系统往第一方向预设距离处以检测基准标记(AMR1,AML1)的第二对准系统(62)、检测基准标记(AM)并计算基板第一方向之伸缩或基板之搬送速度的计算部(91,93)、以及根据基板第一方向之伸缩或基板之搬送速度的至少其中之一及基准标记来在基板之预设位置做处理的处理部(20,40)。