发明名称 |
遮罩感知布线及所产生的设备;MASK-AWARE ROUTING AND RESULTING DEVICE |
摘要 |
本发明揭示根据遮罩设计规则而用于布线金属布线层的方法及所产生的设备。具体实施例可包括在半导体设计布局中布设连续金属线,并且藉由处理器,基于切割或阻隔遮罩设计规则,根据切割或阻隔遮罩的置放,使用连续金属线对金属布线层进行布线。 |
申请公布号 |
TW201544897 |
申请公布日期 |
2015.12.01 |
申请号 |
TW103142322 |
申请日期 |
2014.12.05 |
申请人 |
格罗方德半导体公司 GLOBALFOUNDRIES US INC. |
发明人 |
袁 磊 YUAN, LEI;桂 宗郁 KYE, JONGWOOK;蓝威森 海瑞J LEVINSON, HARRY J. |
分类号 |
G03F1/00(2012.01);G06F17/50(2006.01) |
主分类号 |
G03F1/00(2012.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪武雄陈昭诚 |
主权项 |
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地址 |
美国 US |