洗净液生成装置、及基板洗净装置

主权项

一种洗净液生成装置，其特征为，具备有：混合部，系在酸性或硷性之液体中混合过氧化氢水而生成混合液，并藉由前述过氧化氢水分解所产生的氧气、或者是藉由反应热所产生的蒸气，而提高该生成之混合液的压力；和气泡产生部，系被连接于该混合部之流出口侧处并具有使前述混合液通过之贯通孔，使藉由前述混合部而提高了压力的前述混合液通过前述贯通孔来释放前述混合液之压力，并在前述混合液中产生复数之微小气泡；和吐出配管，系用以吐出包含藉由该气泡产生部所产生的前述复数之微小气泡的混合液，设置在前述气泡产生部的前述贯通孔的大小系比前述吐出配管之内径更小。