具有散射光抑制作用的紫外线传感器及侦测紫外线的方法

摘要

本发明涉及一种以CMOS制程制造的紫外线传感器，此种紫外线传感器包含一个带有表面的基板、位于基板上的一或多个侦测辐射用的传感器元件、至少一个设置在基板表面上方的钝化层、以及一个设置在钝化层上方的功能层，其中功能层是由至少一个滤波器构成。为达到本发明的目的，使紫外线传感器仅在紫外线波长范围具有敏感性，本发明在装置上是直接将滤波器形成于平坦的钝化层上，以及以散射光抑制体将该至少一个传感器元件及/或紫外线传感器环绕住。本发明在方法上是从至少两个具有不同滤波器的光电二极体测出两个输出信号，并找出这两个输出信号之间的数学逻辑连接。