发明名称 用于对准电子电路板之对准装置及方法,及用于处理基板之设备
摘要
申请公布号 TWI511629 申请公布日期 2015.12.01
申请号 TW102114228 申请日期 2008.10.24
申请人 应用材料意大利有限公司 发明人 巴契尼安德烈
分类号 H05K13/02;B65B35/38;B65G49/07 主分类号 H05K13/02
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种对准装置,用于电子电路中对准一板(11),包括:一传送构件,用以沿一传送轴(Y)而将该板(11)从至少一入口位置传送至一对准位置,该对准位置界定一对准平面(P);一移动单元(40),设置于该对准位置处,包括:一操作器(30),具有一底座表面(31),该底座表面(31)经设置以支撑该板(11);一第一移动构件,经设置以沿一第一轴(Z)而垂直地定位该操作器(30),该第一轴(Z)系实质垂直该对准平面(P);一第二移动构件,经设置以将该操作器(30)绕该第一轴(Z)而旋转;及一第三移动构件,经设置以沿一第二轴(X)同时地移动该操作器(30),该第二轴(X)系横向于该第一轴(Z)并垂直于该传送轴(Y);及一影像获取构件,对应于该对准位置而设置,该影像获取构件经设置以侦测设置于该底座表面(31)上于该对准位置处的该板(11)之位置。
地址 义大利