抗反射涂层组合物及其方法

主权项

一种抗反射涂层组合物，其包括交联剂及能够藉由该交联剂交联之可交联聚合物，其中该可交联聚合物包括由结构(1)表示之单元：
其中A系稠合芳族环，其包含3至5个芳族环，且该芳族环系进一步未经取代或经选自于以下有机成份所组成之群中一或多者取代：烷基、经取代之烷基、芳基、经取代之芳基、烷基芳基、卤烷基、羟基、胺基、胺基烷基及未经取代之烷氧基，及B具有结构(2)，其中R1系C1-C4烷基及R2系C1-C4烷基，及其中该组合物进一步包含酸产生剂。