| 发明名称 |
PILLAR DEVICES AND METHODS OF MAKING THEREOF |
| 摘要 |
<p>반도체 장치를 제조하는 방법은 복수의 개구부를 포함하는 절연층을 제공하는 단계와, 절연층 위에, 그리고, 절연층에서 복수의 개구부에 제 1 반도체 층을 형성하는 단계와, 제 1 반도체 층의 제 1 전도형의 제 2 부분이 절연층에서 복수의 개구부의 하부에 잔류하고 절연층에서 복수의 개구부의 상부가 충전되지 않고 남아있도록 제 1 반도체 층의 제 1 부분을 제거하는 단계를 포함한다. 또한, 이 방법은 절연층 위에, 그리고, 절연층에서 복수의 개구부의 상부에 제 2 반도체 층을 형성하는 단계와, 절연층 위에 위치한 제 2 반도체 층의 제 1 부분을 제거하는 단계를 포함한다. 복수의 개구부에 복수의 필라형 다이오드를 형성하도록 절연층에서 복수의 개구부의 상부에 제 2 반도체 층의 제 2 도전형 제 2 부분이 잔류된다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101573270(B1) |
申请公布日期 |
2015.12.01 |
| 申请号 |
KR20107017757 |
申请日期 |
2009.01.14 |
| 申请人 |
쌘디스크 3디 엘엘씨 |
发明人 |
던톤, 반스;허너, 브래드, 에스.;푼, 폴, 와이, 키에;판, 추안빈;찬, 마이클;코네섹키, 마이클;라구람, 우샤;페티, 크리스토퍼, 제이. |
| 分类号 |
H01L29/861 |
主分类号 |
H01L29/861 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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