| 发明名称 |
形成抗沾黏涂层的方法与其抗沾黏涂层;METHOD FOR FORMING ANTI STICTION COATING AND ANTI STICTION COATING THEREOF |
| 摘要 |
提出一种在半导体元件的表面上形成抗沾黏涂层的方法。在抗沾黏涂层沉积之前，先使用原子层沉积程序以活化表面，以取得对表面具有强化学键结的抗沾黏涂层。 |
| 申请公布号 |
TW201544617 |
申请公布日期 |
2015.12.01 |
| 申请号 |
TW103122675 |
申请日期 |
2014.07.01 |
| 申请人 |
立景光电股份有限公司 HIMAX DISPLAY, INC. |
发明人 |
盖德 罗兰德Ｖ GELDER, ROLAND V. |
| 分类号 |
C23C16/02(2006.01);C23C16/00(2006.01);C23C16/455(2006.01);B01D1/00(2006.01);B05D5/08(2006.01);G02B26/00(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗詹东颖刘亚君 |
| 主权项 |
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| 地址 |
台南市新市区紫楝路26号 TW |
