表面多点对焦系统及方法

主权项

一种表面多点对焦系统，运用于影像测量仪，该影像测量仪包括位于该影像测量仪Z轴的电荷藕合器件CCD以及位于XY平面的测量台面，该系统包括：选择模组，用于确定对焦点选择方式；计算模组，用于在该CCD沿Z轴从预设对焦范围的上对焦范围以第一预设速度向该预设对焦范围的下对焦范围移动时，从该CCD获取工件的多个影像，并读取每个影像对应的该CCD所在Z轴的座标，根据所确定的对焦点选择方式确定在每个影像中的多个对焦点，根据每个对焦点的灰度值及平面座标计算每个对焦点的清晰度，在该CCD到达该预设对焦范围的下对焦范围时，根据每个影像对应的该CCD所在Z轴的座标以及每个对焦点在多个影像中的清晰度确定每个对焦点的第一位置座标，及根据所有对焦点的Z座标确定一个调整对焦范围；所述的计算模组，还用于在该CCD从调整对焦范围的下对焦范围至上对焦范围的移动过程中，计算该CCD获取的工件的每个影像中每个对焦点的第二位置座标；及输出模组，用于输出在调整对焦范围内的对焦点的第二位置座标。