发明名称 光学积分器;OPTICAL INTEGRATOR
摘要 根据来自光源的光而对被照射面进行照明的照明光学系统中使用的光学积分器包括:第1复眼光学系统,在光源与被照射面之间的光程中,具有在与被照射面成光学共轭的位置处并列配置的多个第1光学组件(61a、61b、61c);以及第2复眼光学系统,在第1复眼光学系统与被照射面之间的光程中,具有以与多个第1光学组件相对应的方式而并列配置的多个第2光学组件。多个第1光学组件中的至少一个第1光学组件、与不同于该至少一个第1光学组件的其他第1光学组件、在照明光学系统的光轴或与该光轴平行的轴周围的姿势彼此不同。; and a second fly-eye optical system having several second optical components arranged in parallel so as to correspond to the several first optical components on the optical routes between the first fly-eye optical system and the illuminated surfaces. At least one first optical component of the several first optical components and other first optical components that are different from the at least one first optical component have different optical axes in the optical lighting system and different postures around an axis parallel to the optical axes.
申请公布号 TW201544917 申请公布日期 2015.12.01
申请号 TW104128315 申请日期 2010.03.10
申请人 尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION 发明人 川边喜雄 KAWABE,YOSHIO
分类号 G03F7/20(2006.01);G02B27/09(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文
主权项
地址 日本 JP