腔内被处理对象的接触结构、静电吸盘及其制造方法;CONTACT GEOMETRY FOR PROCESSING OBJECT, ELECTROSTATIC CHUCK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

本发明提供一种腔内被处理对象的接触结构。其包括：为格子状的凹槽及环绕该凹槽的突出结构排列。该接触结构利用掩模而容易快速地形成。细小的突出结构排列即使在长时间使用之后，也能保持比较均匀的接触比例，由此抑制发生斑点等问题。