形成具有减少表面粗度及主体缺陷密度之异质层于非原生表面的方法及其形成结构;METHODS OF FORMING HETERO-LAYERS WITH REDUCED SURFACE ROUGHNESS AND BULK DEFECT DENSITY ON NON-NATIVE SURFACES AND THE STRUCTURES FORMED THEREBY

摘要

形成具有减少表面粗度及主体缺陷密度之异质层于非原生表面的方法及其形成装置被叙述。于一实施例中，该方法包含提供具有一顶部表面之基板，该顶部表面设有一晶格常数；与将第一层沉积在该基板之顶部表面上。该第一层具有一设有晶格常数的顶部表面，该晶格常数系与该基板之顶部表面的第一晶格常数不同。该第一层被退火及抛光，以形成一抛光表面。第二层接着被沉积在该抛光表面上方。