| 主权项 |
一种基板检测装置，用于检测电路基板上形成的电路图形，该基板检测装置包含：电压测定回路形成部，经过测定物件的该电路图形而形成电压测定回路；电压测定部，配置在该电压测定回路；电流供应部，对该测定物件的电路图形供应电流；以及控制部；其中，该控制部执行：校正电压测定工序，对该测定物件的电路图形不供应电流的状态下，由该电压测定部测定电压；电路图形测定工序，对该测定物件的电路图形供应电流的状态下，由该电压测定部测定电压；和校正工序，将该电路图形测定工序中测定的电压由该校正电压测定工序中测定的电压来校正。 |
