共享薄膜式热电堆感测器阵列

主权项

一种用于监测辐射之热电堆感测器阵列，该热电堆感测器阵列包含：一半导体基材；一共享式支持薄膜，其系定位在该半导体基材上；复数个热电堆，其系配置在该等共享式支持薄膜及半导体基材上，其中该等复数个热电堆中之各热电堆的一第一部分系与该共享式支持薄膜接触，且其中该等复数个热电堆中之各热电堆的一第二部分系与该半导体基材接触；及一或更多个吸收体，其系热耦接至该等复数个热电堆中之各热电堆，其中该等复数个热电堆中之每一个别热电堆系可操作为回应自该一或更多个吸收体接收辐射来产生一分开、独立的输出电压，且其中由每一个别热电堆所产生的该分开、独立的输出电压系对应至该每一个别热电堆所接收的辐射量。