| 摘要 |
본 발명은 유기 원료 유체의 공급계 등으로 사용하는 농도계의 구조의 간소화, 소형화, 제품 코스트의 인하를 도모하고, 고밀도, 고감도이고 또한 재현성이 높은 농도 측정을 할 수 있는 농도계를 제공한다. 본 발명은 위상차를 갖는 적어도 2개의 파장의 광을 발광하는 광원부와, 광원부로부터의 광을 검출기 본체의 유체 통로내로 입사하는 광입사부 및 유체 통로내를 투과한 광을 수광하는 적어도 2개의 광검출부를 구비한 검출부와, 검출부로부터의 적어도 2개의 파장의 검출 신호를 각각 주파수 해석함과 아울러, 상기 각 검출 신호의 적어도 3개의 주파수 영역에서의 흡광도에 대응하는 강도를 연산하고, 상기 각 검출 신호의 적어도 3개의 주파수 영역에서의 흡광도 강도로부터 유체 통로내의 유체 농도를 연산하는 연산 처리부와, 연산 처리부에서의 유체 농도의 연산치를 기록 및/또는 표시하는 기록 표시부로 구성한다. |
