| 摘要 |
레이저광(L)을 출사하는 레이저 광원(202)과, 레이저 광원(202)에 의해 출사된 레이저광(L)을 변조하는 공간광 변조기(203)와, 공간광 변조기(203)에 의해 변조된 레이저광을 가공 대상물(1)에 집광하는 집광 광학계(204)를 구비하고, 복수 열의 개질 영역(7)은 레이저광 입사면측에 위치하는 입사면측 개질 영역과, 레이저광 입사면의 반대면측에 위치하는 반대면측 개질 영역과, 입사면측 개질 영역과 반대면측 개질 영역의 사이에 위치하는 중간 개질 영역을 적어도 포함하며, 공간광 변조기(203)는 중간 개질 영역을 형성하는 경우에는, 액시콘 렌즈 패턴을 변조 패턴으로서 표시함으로써, 레이저광 조사 방향을 따라서 근접하게 늘어서는 복수 위치에 집광점이 형성되도록 레이저광을 집광시킴과 아울러, 입사면측 개질 영역 및 반대면측 개질 영역을 형성하는 경우에는, 액시콘 렌즈 패턴을 변조 패턴으로서 표시하지 않도록 함으로써, 가공 품질을 향상시킨다. |
