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<p>가속도를 계측하는 기술 및 메커니즘이 제공된다. 일 실시예에서, 미세전자기계 가속도계(microelectromechanical accelerometer)는 자석, 질량체, 이 질량체를 지지하는 제 1 지지 빔 부분 및 제 2 지지 빔 부분을 포함한다. 제 1 지지 빔 부분 및 제 2 지지 빔 부분의 공진 주파수 특성은, 제 1 지지 빔 부분 및 제 2 지지 빔 부분에 의해 도전되는 전류 및 자석에 기반하여, 질량체의 가속도를 나타낸다. 다른 실시예에서, 가속도계는 제 1 와이어 부분 및 제 2 와이어 부분을 더 포함하는데, 제 1 와이어 부분 및 제 2 와이어 부분은 각각 질량체에 접속되고, 또한 제 1 와이어 부분 및 제 2 와이어 부분과 신호를 교환하는 각각의 앵커에도 접속된다. 제 1 와이어 부분 및 제 2 와이어 부분은 질량체의 바이어싱(biasing)을 제공한다.</p> |
