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发明名称 - DIAMOND-LIKE CARBON COATINGS FOR SUBSTRATE CARRIERS
摘要 다이아몬드-라이크 탄소 코팅이 위에 배치된 기판 캐리어가 제공된다. 다이아몬드-라이크 탄소 코팅은, nf3 플라즈마를 사용하는 세정 프로세스들과 같은, 광발전(photovoltaic) 셀들의 제조 동안에 수행되는 통상적으로 사용되는 세정 프로세스들에 대해 실질적으로 저항하는(resistant) 특성을 가질 수 있다.
申请公布号 KR20150004261(U) 申请公布日期 2015.11.27
申请号 KR20150003172U 申请日期 2015.05.18
申请人 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 发明人 셍, 수란;장, 린;조, 서 호
分类号 H01L31/0216;H01L31/0236 主分类号 H01L31/0216
代理机构 代理人
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