| 摘要 |
실리콘 기판에, 인체에 유해한 유기 용매를 사용하지 않고 에칭을 행하여 피라미드 형상 요철부를 형성하여, 발전 효율을 높인 광 기전력 소자 및 그 제조 방법을 제공한다. 이방성 에칭에 의해 표면에 다수의 피라미드 형상 요철부가 형성된 실리콘 기판(11)과, 피라미드 형상 요철부 위에 화학 기상 성장법에 의해 형성되는 비정질계 실리콘 박막(12∼15)을 구비하는 광 기전력 소자(10)에 있어서, 에칭 조건을 선정하여, 이하의 식으로 정의되며, 피라미드 형상 요철부를 형성하는 피라미드의 대각선의 평균 길이가 5㎛보다 작게 되어 있다. 대각선의 평균 길이=(2×시야 범위의 면적/시야 범위의 피라미드의 정점수) |
