| 摘要 |
<p>본 발명의 성막 장치는 진공 용기의 천장판에 투과창을 갖고 있고, 이 투과창을 통해 서셉터 상의 웨이퍼에 광을 조사함으로써, 성막되는 막의 막두께가 측정된다. 구체적으로는, 막두께 측정 시스템은 투과창의 상면에 배치되는 3개의 광학 유닛과, 광학 유닛의 각각에 광학적으로 접속되는 광파이버선과, 이들 광파이버선이 광학적으로 접속되는 측정 유닛과, 측정 유닛을 제어하기 위해 측정 유닛과 전기적으로 접속되는 제어 유닛을 갖고 있다.</p> |
