摘要 |
Двухмембранный тензопреобразователь давления, содержащий цилиндрическое основание со штуцером и каналом подвода давления, образующих камеру, основную металлическую мембрану, на которой размещен тензочувствительный элемент на основе структуры "кремний на сапфире" в виде резистивной мостовой схемы, дополнительную усилительную металлическую мембрану, установленную между основанием и основной мембраной, имеющей шток, один конец которого выполнен за одно целое с основной мембраной, а другой жестко соединен с металлической усилительной мембраной, и упоры, отличающийся тем, что металлическая усилительная мембрана жестко связана с проходящим через центр толстой нерабочей части мембраны штоком и через расположенную со стороны основной мембраны и одетой на шток переходной втулкой, выполненной с плоским кольцевым буртом, служащим упором, ограничивающим перемещение штока в пределах зазора между упором и опорной плоскостью зафиксированного в корпусе основной металлической мембраны диска, имеющего выполненный за одно целое с ним кольцевой упор, размещенный по другую сторону его опорной поверхности с зазором между ним и плоскостью утолщенной части усилительной мембраны. |