局所拡散裏面を有する光電池の製造方法

摘要

（ａ）太陽の方向に向いている前表面と裏表面とを含むドープされたシリコン基材を提供するステップと、（ｂ）二酸化シリコン層を前表面および裏表面上に形成するステップと、（ｃ）ホウ素化合物と溶剤とを含むホウ素含有ドーピングペーストを裏表面上にあるパターンで堆積させるステップと、（ｄ）リン化合物と溶剤とを含むリン含有ドーピングペーストを裏表面上にあるパターンで堆積させるステップと、（ｅ）ホウ素とリンとをシリコン基材の裏表面内に局所的に拡散させるためにシリコン基材を雰囲気中で第１の温度に、かつ第１の時間にわたって加熱するステップとを含む、局所拡散裏面を有する光電池を製造するための方法。