| 摘要 |
<p>プラズマチャンバ内のイオンエネルギーを調整し、基板を基板支持部にチャックで固定するためのシステム、方法、および装置が開示される。例示的方法は、基板をプラズマチャンバの中に配置することと、プラズマチャンバ内でプラズマを形成することと、周期的電圧関数（または修正された周期的電圧関数）を基板に印加するために、基板への電力を制御可能に切り替えることと、周期的電圧関数の複数のサイクルにわたって、時間平均基準でイオンエネルギーの定義された分布をもたらすために、基板の表面におけるイオンのエネルギーの定義された分布に応答して、周期的電圧関数を変調することとを含む。</p> |
