| 发明名称 |
ミラー |
| 摘要 |
分断化された全表面区域を有するミラー。ここで、分断化が非周期的な配列を形成する。【選択図】図１１ｂ |
| 申请公布号 |
JP2015534110(A) |
申请公布日期 |
2015.11.26 |
| 申请号 |
JP20150531514 |
申请日期 |
2013.08.30 |
| 申请人 |
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー |
发明人 |
ゼンガー インゴ;ルオッフ ヨハネス;エンドレス マルティン;アイゼンマン トーマス |
| 分类号 |
G03F7/20;G02B5/08;G02B5/10 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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