| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verdampferquelle zur Oberflächenbehandlung zumindest eines Substrats, mit einem monolithischen Gehäuse (12) aus Graphit, welches zumindest einen Dampfraum (14, 114) zur Aufnahme zumindest eines Verdampfungsgutbehälters (16, 116) aufweist und welches zumindest einen mit dem Dampfraum (14, 114) in Strömungsverbindung stehenden Auslass (18) aufweist. Die Erfindung betrifft ferner eine Verdampferanordnung (1) mit einem strömungstechnisch mit der Verdampferquelle (10) gekoppelten Dampfverteiler (50).</p> |
| 申请人 |
MANZ AG;ZENTRUM FÜR SONNENENERGIE- UND WASSERSTOFF-FORSCHUNG BADEN-WÜRTTEMBERG (ZSW) |
发明人 |
VOORWINDEN, GEORG;GROSS, ERWIN;ENGLERT, ULRICH;SORG, ARMIN;STRAUB, AXEL;VON BISMARCK, PHILIPP;PISCH, MICHAEL;KNOTH, LIOUDMILA;MARIENFELD, ALEXANDER |
