Methods of fabricating single crystal graphene

摘要

본 발명은 웨이퍼 스케일의 절연체 기판 상에 단결정과 같이 한 방향으로 정렬된 그래핀막을 성장시키기 위하여, 기판 상에 탄화수소 가스를 이용하여 다결정 그래핀을 형성하는 단계, 상기 다결정 그래핀 상에 촉매를 형성하는 단계, 상기 다결정 그래핀 및 상기 촉매를 열처리함으로써 상기 다결정 그래핀을 단결정 그래핀으로 재결정화하는 단계를 포함하는 단결정 그래핀막의 제조방법을 제공한다.