| 摘要 |
<p>【課題】 低コストで、安定かつ信頼度の高い設計が可能な真空バルブを提供する。【解決手段】 真空バルブは、縦軸線（２０）を有し、少なくとも１つのバルブ開口部（２，３）を閉止するための少なくとも１つの閉止部材（９，１０）を支持し、縦駆動部（１８）により、縦軸線（２０）に平行な縦方向（２１）に、真空バルブが開放している始端位置から中間位置まで移動可能であり、横駆動部（１９）により、中間位置から真空バルブが閉鎖している少なくとも１つの終端位置まで移動可能なバルブロッド（１１）を備えている。少なくとも１つのガイド部材（２４）により、縦方向（２１）に移動可能に案内される伝達部材（２３）がバルブロッド（１１）に取付けられている。横駆動部（１９）の少なくとも１つの駆動部材（２６）は、ガイド部材（２４）と係合し、ガイド部材（２４）は、少なくとも１つの駆動部材（２６）を介して、横駆動部（１９）により、横方向（２２）に移動可能であり、ガイド部材（２４）は、横方向（２２）に動作している間、伝達部材（２３）と共に移動する。【選択図】 図２１</p> |
