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Es ist ein Verfahren zur Herstellung einer Öffnungsstruktur vorgesehen. Das Verfahren kann folgende Schritte einschließen: Bilden einer strukturierten Maske über einer ersten Seite eines Trägers (1272), Bilden von Material über der ersten Seite des Trägers, wodurch zumindest ein Teil des Trägers bedeckt wird (1274), Bilden einer ersten Öffnung im Träger von einer zweiten Seite des Trägers entgegengesetzt zur ersten Seite des Trägers, um eine Fläche der strukturierten Maske zumindest teilweise freizulegen (1276), und Bilden einer zweiten Öffnung im Material von der zweiten Seite des Trägers unter Verwendung der strukturierten Maske als Maske (1278). |
