| 摘要 |
<p>本発明は、調整された表面を備える中間層１１を設けることによって改善された内部アウトカップリングを備える発光装置を製造する方法に関する。これは、平らなガラス表面１００を飽和エッチング液にさらすことによって、又はガラス基板の化学表面組成に局所的な変化を与えることによって、又は局所的に分離したサブμm粒子を堆積させることによって、達成され得る。前記エッチング液の除去によって、後で気相から堆積させられる種に対して高い付着係数を持つガラス成分のサブμmサイズ延在領域から成る、超微粒子１２が堆積させられる、又は欠陥が生成される。これらの超微粒子又は欠陥は、優先的円錐形柱状成長で、異なる付着係数による局所的に異なる成長を引き起こし、前記中間層１１の上面に小さな隆起１４をもたらし、前記小さな隆起１４は、次いで、発光素子の層２００でオーバーコーティングされ、後の反射により十分な散乱を引き起こす。</p> |
