发明名称 一种高α相氮化硅的制备方法
摘要 本发明公开一种高α相氮化硅的制备方法,包括以下步骤:首先将质量比为5~45:100的纳米级硅粉和微米级硅粉充分混合,得到硅粉原料;氮气气氛下,将所述的硅粉原料加热到800~1200℃,保温2~20h,再升温至1200~1350℃,待氮化反应完全后得到氮化硅。本发明提供了一种高α相氮化硅的制备方法,通过在微米级硅粉中掺入纳米级硅粉,同时控制氮化温度,抑制硅粉的自烧结,进而获得了高含量的α相氮化硅;本制备方法工艺简单、性能可控,且生产周期短、极大地降低了生产能耗,适合于大规模的工业化生产。
申请公布号 CN104291829B 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201410446973.8 申请日期 2014.09.04
申请人 浙江大学 发明人 张亚光;杜宁;张辉;杨德仁
分类号 C01B21/068(2006.01)I;C04B35/584(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I 主分类号 C01B21/068(2006.01)I
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人 胡红娟
主权项 一种高α相氮化硅的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将纳米级硅粉和微米级硅粉按质量比为5~45:100进行充分混合,得到硅粉原料;(2)氮气气氛下,将步骤(1)得到的硅粉原料加热到800~1200℃,保温2~20h,再升温至1350℃,待氮化反应完全后得到氮化硅。
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