发明名称 |
一种高α相氮化硅的制备方法 |
摘要 |
本发明公开一种高α相氮化硅的制备方法,包括以下步骤:首先将质量比为5~45:100的纳米级硅粉和微米级硅粉充分混合,得到硅粉原料;氮气气氛下,将所述的硅粉原料加热到800~1200℃,保温2~20h,再升温至1200~1350℃,待氮化反应完全后得到氮化硅。本发明提供了一种高α相氮化硅的制备方法,通过在微米级硅粉中掺入纳米级硅粉,同时控制氮化温度,抑制硅粉的自烧结,进而获得了高含量的α相氮化硅;本制备方法工艺简单、性能可控,且生产周期短、极大地降低了生产能耗,适合于大规模的工业化生产。 |
申请公布号 |
CN104291829B |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201410446973.8 |
申请日期 |
2014.09.04 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
张亚光;杜宁;张辉;杨德仁 |
分类号 |
C01B21/068(2006.01)I;C04B35/584(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I |
主分类号 |
C01B21/068(2006.01)I |
代理机构 |
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 |
代理人 |
胡红娟 |
主权项 |
一种高α相氮化硅的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将纳米级硅粉和微米级硅粉按质量比为5~45:100进行充分混合,得到硅粉原料;(2)氮气气氛下,将步骤(1)得到的硅粉原料加热到800~1200℃,保温2~20h,再升温至1350℃,待氮化反应完全后得到氮化硅。 |
地址 |
310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 |