具有微机械的麦克风结构的组件及其制造方法

摘要

本发明涉及用于改进以牺牲层技术制造的麦克风组件的声学特性的措施。这样的组件(10)的微机械的麦克风结构以层结构实现并且包括至少一个可通过声压偏转的膜片以及一个用于所述膜片的、固定的、在声学上可透过的对应元件(12)，所述膜片以膜片层实现，所述对应元件以所述膜片层上方的厚的功能层实现并且设有用于声耦入的通孔(13)。根据本发明，用于声耦入的通孔(13)设置在所述膜片的中部区域上方，而在所述膜片的边缘区域上方结构化有所述对应元件(12)中的在声学上在最大程度上被动的穿孔(14)。

主权项

具有微机械的麦克风结构的组件(10)，所述麦克风结构以层结构实现，所述组件至少包括：可通过声压偏转的膜片，其以膜片层实现，和用于所述膜片的、固定的、在声学上可透过的对应元件(12)，其以所述膜片层上方的厚的功能层实现并且设有用于声耦入的通孔(13)；其特征在于，所述对应元件是完全掏蚀的，并且用于声耦入的所述通孔(13)设置在可通过声压偏转的所述膜片的中部区域上方，并且在可通过声压偏转的所述膜片的边缘区域上方结构化有所述对应元件(12)中的在声学上在最大程度上被动的并且由此在声学上不可透过的穿孔，所述穿孔被构造为小于所述通孔并且构造用于蚀刻通道。