| 发明名称 | 精密致动装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种精密致动装置，用于在至少两个方向上实现精密致动，包括：第一移动部件，具有在其内部形成的安装空间；第一移动部件具有上表面和内侧面，安装空间从上表面向第一移动部件的内部凹入并朝向上表面敞开，并且安装空间的周边由内侧面限定；第一精密驱动机构，与第一移动部件传动连接，第一精密驱动机构用于驱动第一移动部件沿第一方向运动；第二移动部件和第二精密驱动机构，布置且保持在安装空间内，以便能够随第一移动部件一起沿第一方向运动；第二精密驱动机构与第二移动部件传动连接，用于驱动第二移动部件在安装空间内沿不同于第一方向的第二方向运动。本发明的精密致动装置结构设计紧凑、精密致动装置占用体积小、移动范围大。 | ||
| 申请公布号 | CN105094147A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201410165949.7 | 申请日期 | 2014.04.23 |
| 申请人 | 中国科学院物理研究所 | 发明人 | 武荣庭;郇庆;闫凌昊;任俊海;吴泽宾;高鸿钧 |
| 分类号 | G05D3/12(2006.01)I | 主分类号 | G05D3/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人 | 范晓斌;薛峰 |
| 主权项 | 一种精密致动装置，用于在至少两个方向上实现精密致动，包括：第一移动部件(10)，具有在其内部形成的安装空间(101)；其中，所述第一移动部件具有上表面(102)和内侧面(103)，所述安装空间(101)从所述上表面(102)向所述第一移动部件(10)的内部凹入并朝向所述上表面(102)敞开，并且所述安装空间(101)的周边由所述内侧面(103)限定；第一精密驱动机构(11)，与所述第一移动部件(10)传动连接，所述第一精密驱动机构(11)用于驱动所述第一移动部件(10)沿第一方向运动；第二移动部件(20)和第二精密驱动机构(21)，布置且保持在所述安装空间(101)内，以便能够随所述第一移动部件(10)一起沿所述第一方向运动；其中，所述第二精密驱动机构(21)与所述第二移动部件(20)传动连接，用于驱动所述第二移动部件(20)在所述安装空间内沿不同于所述第一方向的第二方向运动。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村南三街八号 | ||