| 发明名称 | 一种相变型氧化钒材料及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种相变型氧化钒材料及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：提供氧化钒基材，对所述氧化钒基材进行气体离子注入，得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料。后续可选择性地通过进一步退火来调整氧化钒中注入气泡的形成情况，进一步调整应力应变及相变温度。本发明的相变型氧化钒材料的制备方法步骤简单，工艺重复性好，灵活性强，通过改变气体离子的注入剂量，可以连续调节氧化钒的相变温度。同时，本发明兼容性好，可与其它相变温度方法相结合，实现更大的相变温度调节范围。本发明还可实现区域相变温度调节，为氧化钒器件的制备提供了一个新的方向。 | ||
| 申请公布号 | CN105088166A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201510524327.3 | 申请日期 | 2015.08.24 |
| 申请人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明人 | 欧欣;贾棋;黄凯;王曦 |
| 分类号 | C23C14/48(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/48(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 余明伟 |
| 主权项 | 一种相变型氧化钒材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供氧化钒基材，对所述氧化钒基材进行气体离子注入，得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料。 | ||
| 地址 | 200050 上海市长宁区长宁路865号 | ||