发明名称 |
一种铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法 |
摘要 |
本发明涉及光学器件技术领域,尤其涉及一种铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法,包括基底以及位于所述基底上的波导层,所述基底采用铌酸锂晶体,所述波导层位于所述铌酸锂晶体的+z面,条波到的方向是铌酸锂晶体的y方向,在所述基底上制备波导层采用的是光刻工艺。所制备的光波导性能优良,损耗小,能够在各种光学研究中起到良好的作用,对钛扩散后的铌酸锂晶体采用富锂气相输运平衡处理,达到近化学计量比(NS,[Li]/[Nb]>99%)。近化学计量比铌酸锂晶体具有很多更加优异的性能:晶体缺陷少,光学均匀性好,具有更强的电光和非线性效应。钛扩散光波导具有波导性能优良,且损耗较小等优点。 |
申请公布号 |
CN105093406A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201410579062.2 |
申请日期 |
2014.10.26 |
申请人 |
派尼尔科技(天津)有限公司 |
发明人 |
姜城 |
分类号 |
G02B6/122(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/122(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法,其特征在于:包括基底以及位于所述基底上的波导层,所述基底采用铌酸锂晶体,所述波导层位于所述铌酸锂晶体的+z面,条波到的方向是铌酸锂晶体的y方向。 |
地址 |
300000 天津市滨海新区泰华路泰达中小企业发展中心3050房间 |