| 发明名称 | 微机电系统麦克风 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种微机电系统麦克风，包括微机电系统结构，具有基板、振膜以及背板，其中该基板有空腔，且该背板在该空腔与该振膜之间，该背板具有多个通孔与该空腔连接，使该空腔延伸到该振膜。又，黏着层设置在该基板上，环绕该空腔。盖板黏附于该黏着层，其中该盖板有声孔，该声孔的位置与该空腔是错开，没有直接联通。 | ||
| 申请公布号 | CN105101025A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201410190880.3 | 申请日期 | 2014.05.07 |
| 申请人 | 鑫创科技股份有限公司 | 发明人 | 谢聪敏;李建兴;蔡振维;刘志成 |
| 分类号 | H04R19/04(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
| 主权项 | 一种微机电系统麦克风，包括：微机电系统结构，具有基板、振膜以及背板，其中该基板有空腔，且该背板在该空腔与该振膜之间，该背板具有多个通孔与该空腔连接，使该空腔延伸到该振膜；黏着层，设置在该基板上，环绕该空腔；以及盖板，黏附于该黏着层，其中该盖板有声孔，该声孔的位置与该空腔是错开，没有直接联通。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||