一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置

摘要

本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置，属于半导体技术领域。该薄膜晶体管包括：基板、以及形成于基板上的有源层、源极、栅极和漏极，有源层的两端分别与所述源极和所述漏极连接，栅极包括顶栅和底栅，顶栅包括顶栅顶部和与顶栅顶部连接的顶栅侧部，顶栅顶部和底栅在垂直于基板的方向上相对设置，有源层夹设于顶栅顶部和底栅之间，顶栅侧部从顶栅顶部朝向基板延伸，有源层的侧壁至少部分被顶栅侧部围绕，栅极、源极和漏极均采用非透明的导电材料制成。本发明实施例的薄膜晶体管可以防止有源层被光照射，进而提高薄膜晶体管的特性。

主权项

一种薄膜晶体管，包括：基板、以及形成于所述基板上的有源层、源极、栅极和漏极，所述有源层的两端分别与所述源极和所述漏极连接，其特征在于，所述栅极包括顶栅和底栅，所述顶栅包括顶栅顶部和与所述顶栅顶部连接的顶栅侧部，所述顶栅顶部和所述底栅在垂直于所述基板的方向上相对设置，所述有源层夹设于所述顶栅顶部和所述底栅之间，所述顶栅侧部从所述顶栅顶部朝向所述基板延伸，所述有源层的侧壁至少部分被所述顶栅侧部围绕，所述栅极、所述源极和所述漏极均采用非透明的导电材料制成。