| 摘要 |
<p>본 발명은 기판에 광을 조사하여 상기 기판을 처리하는 광 조사 장치로서, 광의 투과가 가능한 투과창. 투과창의 외측 방향으로 상향 경사지며, 투과창의 상측에 설치되어, 상기 기판으로부터 반사되어 상기 투과창을 투과한 반사광을 상쇄시키는 덤프, 내부에 냉매가 순환되고, 상기 덤프에 설치되어 상기 덤프를 냉각시키는 냉각 블록을 포함한다. 따라서, 본 발명의 실시형태에 의하면, 투과창의 외측 방향으로 상향 경사지도록 덤프를 설치하고, 상기 덤프의 하부면에 요철을 마련함으로써, 기판으로부터 반사된 광의 난반사를 억제 또는 최소화하고, 상기 반사광이 투과창의 외측 방향을 향하도록 유도함으로써, 반사광이 다시 투과창으로 입사되는 것을 억제할 수 있다. 이로 인해 투과창의 온도 불균일 및 온도 상승으로 인한 무라(Mura) 발생 및 광 쉬프트(shift) 현상을 억제할 수 있다.</p> |
