| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Messgerät zur Messung einer bestimmten Gaskomponente, das mit weniger makromechanischen, bewegten Komponenten realisiert werden soll. Es wird deshalb ein Messgerät vorgeschlagen, das ausgerüstet ist
- mit einer breitbandigen Lichtquelle, die ausgebildet ist, Licht moduliert abzugeben,
- mit einem Messvolumen, in der das zu messende Gas vorliegt,
- mit einer ersten Lichtablenkeinheit, die wenigstens einen MEMS-Spiegel umfasst und das Licht abwechselnd auf zwei optische Pfade umlenkt,
- und der eine erste Pfad als Messpfad ausgebildet ist und ein erstes Filterelement enthält,
- und der andere zweite Pfad als Referenzpfad ausgebildet ist und ein zweites Filterelement enthält,
- mit einem optischen Element, das Mess- und Referenzpfad wieder auf einen gemeinsamen optischen Pfad führt,
- mit einem Lichtdetektor und
- mit einer Auswerte- und Steuereinheit zur Ansteuerung der Lichtquelle und der Lichtablenkeinheit und zur Auswertung detektierter Lichtintensitäten und damit Messung der Gaskomponente. |
