| 发明名称 | 用于Z轴谐振加速度计的改进检测结构 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于z轴谐振加速度计(24)的检测结构(1)，具有惯性质量体(2)，其借助弹性锚定件元件(6)锚定到衬底(20)，以便悬置在衬底(20)上方，并且响应于沿关于平面(xy)横切的垂直轴(z)作用的外部加速度(a<sub>z</sub>)来执行绕第一旋转轴(A)的旋转的惯性移动；以及第一谐振器元件(10a)和第二谐振器元件(10b)，其通过相应弹性支撑元件(16)机械耦合到惯性质量体(2)，这实现在谐振情况下的绕第二旋转轴(B)和第三旋转轴(C)的旋转的移动。具体地，第二旋转轴(B)和第三旋转轴(C)相互平行，并且还平行于惯性质量体(2)的第一旋转轴(A)。 | ||
| 申请公布号 | CN103827673B | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201280042181.3 | 申请日期 | 2012.08.31 |
| 申请人 | 意法半导体股份有限公司;米兰综合工科大学 | 发明人 | C·科米;A·科里利亚诺;S·泽尔比尼 |
| 分类号 | G01P15/097(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/097(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 王茂华;张宁 |
| 主权项 | 一种用于z轴谐振加速度计(24)的检测结构(1)，包括：－惯性质量体(2)，借助弹性锚定件元件(6)被锚定到衬底(20)，以便悬置在所述衬底(20)上方，所述弹性锚定件元件(6)被配置用于使所述惯性质量体(2)响应于沿关于所述惯性质量体(2)的主延伸的平面(xy)横切的垂直轴(z)作用的外部加速度(a<sub>z</sub>)来执行绕第一旋转轴(A)的旋转的惯性移动，所述第一旋转轴(A)平行于属于所述平面(xy)的水平轴(y)；以及－第一谐振器元件(10a)和第二谐振器元件(10b)，通过相应弹性支撑元件(16)机械耦合到所述惯性质量体(2)，所述弹性支撑元件(16)被配置用于实现所述第一谐振器元件(10a)和所述第二谐振器元件(10b)的分别绕第二旋转轴(B)和第三旋转轴(C)的旋转的移动，其特征在于，所述第二旋转轴(B)和所述第三旋转轴(C)相互平行，并且还平行于所述惯性质量体(2)的所述第一旋转轴(A)。 | ||
| 地址 | 意大利阿格拉布里安扎 | ||