用于检测离子源污染的分析器

摘要

本发明涉及一种用于检测离子源污染的分析器，包括离子筛选管，还包括控制器，所述离子筛选管的侧壁上设有若干相互隔离且并排的石墨条，所述控制器与各石墨条相连接，所述各石墨条接收单种杂质离子，所述控制器时时监测各石墨条上的杂质离子用于检测离子源污染。本发明在离子筛选管侧壁上设有相互隔离并排的石墨条，由于杂质离子的离子运动半径不同，因而会落在分析器的离子筛选管侧壁上的不同位置，即不同的石墨条会接收到不同的杂质离子，各石墨条后端连接控制器，检测各石墨条上的电流，监测杂质离子是否有异常，从而判断离子源是否有污染或是否不稳定，进而避免大规模的产品污染。

主权项

一种用于检测离子源污染的分析器，包括离子筛选管，其特征在于：还包括控制器，所述离子筛选管的侧壁上设有若干相互隔离且并排的石墨条，所述控制器与各石墨条相连接，所述各石墨条接收单种杂质离子，所述控制器时时监测各石墨条上的杂质离子用于检测离子源污染，其中，各石墨条之间的间隔根据各种杂质离子的离子运动半径来设定。